E1-M高分辨二维材料金相显微转移系统

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编号：BK2020052960

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详细介绍

E1-M适用于石墨烯，硫化钼，黑磷等单层材料精确定点转移，以及多层范德华异质结的制备，实现了低维材料转移的可视化操作。转移系统由显微系统、三轴转移台、真空吸附加热集成样品台等部分组成。目标衬底载物台可面内大角度旋转，是研究异质结特性、空间反演对称性破缺、以及二维材料不同堆叠方式影响的有力工具。高稳定性、高精度的机械设计及高质量的显微成像系统使得小于5μm的微小样品的精确转移得以实现。

E1-M在保留了E1-T优异的转移集成操作的基础上，通过奥林巴斯金相显微镜光学系统的升级，极高地提高了单层、多层及各类范德华异质结观察的分辨率及清晰度，完美整合了观察、转移、成像记录等器件制备全流程操作。E1-M还拥有众多配置选项，包括样品台高温模块，拉曼测试模块，荧光测试模块等，配套阻尼式光学防震平台，同时支持手套箱内使用环境安装。

主要配置*

衬底载物平台	XY 方向两轴平移，行程 60mm；绕 z 轴手动调节旋转±90°；样品台加热最高温度为150 ℃；样品台带样品真空吸附功能
载玻片移动平台	XY方向两轴平移，行程60mm；Z轴升降滑台，行程10mm；绕X轴和Y轴倾斜台，倾斜角度±2°；快速旋转进样装置
显微镜	奥林巴斯BX46显微镜镜体；宽视场正像三目镜筒；原位1X，2X中间变倍；4倍，10倍，20倍，40倍4个物镜，2个10X目镜
显微相机	1200 万像素USB3.0 超高清CMOS 显微相机；提供显微相机操作软件
照明系统	反射式同轴照明系统，1W白色LED
控制机箱	系统电学控制集成，控制样品台加热、吸附功能，控制显微照明亮度调节
电脑	i3处理器，8G内存，1T硬盘，23英寸高清显示器
选配功能	载玻片移动平台电动Z轴模块，样品台高温模块，手套箱内使用环境安装，配套阻尼式光学防震平台

* 详细参数请下载详细配置文件

标准配置

E1-M系统包括四个子系统：衬底载物平台调节子系统、载玻片移动平台调节子系统、显微成像子系统（显微镜、反射式同轴照明器、调焦控制器、相机）、电路控制子系统。

衬底载物平台XY 方向两轴手动平移，行程 60 mm；绕 z 轴手动调节旋转±90°，兼具粗调和细调，旋转精度可达±1°；样品台加热最高温度为150 ℃；样品台带样品真空吸附功能确保转移过程中目标样品位置精确固定。真空泵可通过电磁阀控制，真空泵流量为50 L/min 。

载玻片移动平台xyz三轴可调，XY 行程60 mm，测微丝杆控制；Z 轴行程10 mm，分辨率0.01 mm；水平倾斜角调节±2°，用于调节转移时衬底及载玻片上样品的平行度；且具有快速旋转进样装置。

显微成像系统由显微镜、反射式同轴照明器、调焦控制和相机组成。采用奥林巴斯BX46照明器托架，配备原位中间镜筒变倍器（1 倍，2 倍），可实现不改变物镜倍率的条件下，实现图像原位2 档可调放大倍率。物镜采用4，10 倍长工作距离消色差物镜，20，40 倍长工作距离平场半复消色差物镜。1200 万像素USB3.0 超高清CMOS 显微相机，提供显微相机操作软件，可进行照片拍摄，录制视频，测量样品尺寸，分屏对比等功能。