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电极规格：
以10*10mm为基本单元，每个单元里标记100个数字，数字间隔900um，数字尺寸50um*50um，线宽10um。
电极材料：
5nm Cr+50nm Au金属。
硅片规格：
4英寸，单面抛光，双面氧化 , (100)晶向， 高导电N或者P型可选，电阻率小于0.1 ohm*cm-1。
制作流程：
涂胶->曝光->显影->电子束蒸发金属层->去胶清洗->检验->包装。
包装规格：
每片4英寸独立包装。
特殊定制：
发送需求示意图和需求数量至sales@6carbon.com，评估成本和难度后进行报价。
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