尺寸和参数可定制
尺寸 |
抛光 |
型号晶向 |
规格 |
电阻率Ω·cm |
硅片厚度 |
氧化层厚度/纳米 |
4 |
二氧化硅 |
P |
单氧 |
0.001-0.005 |
500 |
20 |
4 |
二氧化硅 |
P |
单氧 |
1--10 |
500 |
50 |
4 |
二氧化硅 |
P |
单氧 |
0.001--0.005 |
525 |
100 |
4 |
二氧化硅 |
P |
单氧 |
1--10 |
525 |
100 |
4 |
二氧化硅 |
P |
双氧 |
1--10 |
525 |
100 |
4 |
二氧化硅 |
P |
单氧 |
1--10 |
525 |
200 |
4 |
二氧化硅 |
P |
单氧 |
0.001--0.005 |
525 |
200 |
4 |
二氧化硅 |
P |
双氧 |
1--10 |
500 |
200 |
4 |
二氧化硅 |
P |
双氧 |
0.001--0.005 |
525 |
200 |
4 |
二氧化硅 |
P |
双氧 |
1--10 |
525 |
200 |
4 |
二氧化硅 |
P |
单氧 |
1--10 |
500 |
285 |
4 |
二氧化硅 |
P |
双氧 |
1--10 |
525 |
285 |
4 |
二氧化硅 |
P |
双氧 |
0.001--0.005 |
500 |
285 |
4 |
二氧化硅 |
P |
单氧 |
0.001--0.005 |
500 |
285 |
4 |
二氧化硅 |
P |
单氧 |
1--10 |
500 |
300 |
4 |
二氧化硅 |
P |
双氧 |
1--10 |
525 |
300 |
4 |
本征氧化 |
P |
双氧 |
>5000 |
500 |
300 |
4 |
二氧化硅 |
P |
双氧 |
0.001--0.005 |
500 |
300 |
4 |
二氧化硅 |
P |
单氧 |
0.001--0.005 |
500 |
300 |
4 |
二氧化硅 |
P |
双氧 |
0.002--0.004 |
500 |
300 |
4 |
二氧化硅 |
P |
双氧 |
1--10 |
525 |
500 |
4 |
二氧化硅 |
P |
单氧 |
1--10 |
525 |
500 |
4 |
二氧化硅 |
P |
双氧 |
1--10 |
500 |
1000 |
4 |
二氧化硅 |
P |
单氧 |
0.001-0.005 |
500 |
1000 |
4 |
二氧化硅 |
P |
双氧 |
0.01-0.05 |
500 |
2000 |
4 |
二氧化硅 |
P |
单氧 |
0.01-0.05 |
500 |
2000 |
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