尺寸和参数可定制
尺寸
抛光
型号晶向
规格
电阻率Ω·cm
硅片厚度
氧化层厚度/纳米
4
二氧化硅
P
单氧
0.001-0.005
500
20
4
二氧化硅
P
单氧
1--10
500
50
4
二氧化硅
P
单氧
0.001--0.005
525
100
4
二氧化硅
P
单氧
1--10
525
100
4
二氧化硅
P
双氧
1--10
525
100
4
二氧化硅
P
单氧
1--10
525
200
4
二氧化硅
P
单氧
0.001--0.005
525
200
4
二氧化硅
P
双氧
1--10
500
200
4
二氧化硅
P
双氧
0.001--0.005
525
200
4
二氧化硅
P
双氧
1--10
525
200
4
二氧化硅
P
单氧
1--10
500
285
4
二氧化硅
P
双氧
1--10
525
285
4
二氧化硅
P
双氧
0.001--0.005
500
285
4
二氧化硅
P
单氧
0.001--0.005
500
285
4
二氧化硅
P
单氧
1--10
500
300
4
二氧化硅
P
双氧
1--10
525
300
4
本征氧化
P
双氧
>5000
500
300
4
二氧化硅
P
双氧
0.001--0.005
500
300
4
二氧化硅
P
单氧
0.001--0.005
500
300
4
二氧化硅
P
双氧
0.002--0.004
500
300
4
二氧化硅
P
双氧
1--10
525
500
4
二氧化硅
P
单氧
1--10
525
500
4
二氧化硅
P
双氧
1--10
500
1000
4
二氧化硅
P
单氧
0.001-0.005
500
1000
4
二氧化硅
P
双氧
0.01-0.05
500
2000
4
二氧化硅
P
单氧
0.01-0.05
500
2000
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